LZU系列超高真空兼容性直线运动模组可以为几公斤的负载提供长行程直线位移。高精度滚珠导轨适用于扭转载荷较小的简单复合机构中。平滑的运动由高精度滚珠丝杆搭配精密滚珠螺母提供，以确保良好的位置稳定性，并包含预加载丝杆螺母以消除齿隙。传动部分配合低饱和蒸气压润滑脂，使运动更加平滑且不对真空度造成影响。驱动方式采用真空步进电机，可选择安装限位开关或脉冲信号位置控制方式。产品采用超高压兼容材料和加工方法，避免材料对使用环境造成的影响。
超高真空直线运动模组-LZU系列
产品介绍
产品特点
一体化设计，尺寸紧凑、机械刚度高、重复定位精度高；
形成范围可在50至500mm；
适用于常温至200℃的高温范围；
可应用于10-7Pa至常压的环境中；
传动方式采用精密滚珠丝杆；
重复定位精度±0.05mm；
分辨率可达5μm/step;
负载能力可达30kg；
可堆叠用于XYZ；
可根据要求定制非标形成或结构；
可提供二维、三维或龙门结构整体解决方案；
规格说明书
|
描述 |
单位 |
LZUV |
LZUL |
|
|
行程 |
mm |
50/100/200/250/300/350/400/450/500 |
||
|
最大速度 |
mm/s |
15 |
4 |
|
|
低压下建议加速度 |
mm/s2 |
2 |
0.8 |
|
|
重复精度 |
μm |
0.5 |
1 |
|
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中心负载 |
Kg |
30 |
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|
负载扭矩 |
Nm |
＜6 |
||
|
导程 |
mm |
6 |
||
|
轴向负载（500Hz，1A） |
kg |
7 |
12 |
|
|
直线度 |
μm |
＜2μm/100mm |
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使用环境极限真空 |
Mbar |
1×10-7pa |
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|
使用环境极限温度 |
℃ |
200 |
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50mm行程重量 |
Kg |
1 |
1.5 |
|
|
每增加50mm行程重量 |
Kg |
0.35 |
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LZUV-直连电机尺寸图
LZUL-紧凑电机尺寸图
订购信息
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LZUV-xxx |
Xxx=行程（mm）； |
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LZUV-xxx-S |
Xxx=行程（mm）；附带2只限位开关； |
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LZUV-xxx-E |
Xxx=行程（mm）；光学编码器； |
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LZULxxx |
Xxx=行程（mm）； |
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LZUL-xxx-S |
Xxx=行程（mm）；附带2只限位开关； |
|
LZUL-xxx-E |
Xxx=行程（mm）；光学编码器； |
