Dhyana 9KTDI 高速TDI-sCMOS相机

产品介绍

Dhyana 9KTDI（简称：9KTDI）背照式TDI 相机基于先进的sCMOS 背照式减薄和TDI 时间积分技术，采用可靠稳定的制冷封装技术，覆盖从180nm紫外到1100nm近红外宽光谱，有效提升紫外TDI线扫、弱光扫描检测能力，旨在为半导体晶圆缺陷检测、半导体材料缺陷检测、基因测序等应用提供更高效率、更稳定的检测支持。

180nm-1100nm宽光谱

Dhyana 9KTDI 采用背照式 sCMOS 技术，已验证的响应波段可覆盖180 nm - 1100 nm区域。256级 TDI技术可以大幅提升紫外（193nm/266nm/355nm等波段）、可见光、近红外等弱光成像信噪比，提高设备检测精度。

510kHz @ 9K 超高速线扫

Dhyana 9KTDI搭载CXP-12高速接口，支持1 x CXP-12 / 2 x CXP-12 / 4 x CXP-12灵活配置。 相机行频最高可达9K @ 510 kHz，数据通量几乎是目前主流8K线阵相机的6倍，背照式 CCD-TDI 相机的46倍，可大幅提高设备检测效率。

先进制冷降噪技术

相机高速运行时产生的大量热量，不仅会影响成像质量，还会引起测量结果的波动。鑫图先进水冷和风冷技术，确保相机制冷性能即使长时间运行也能保持稳定状态，降低设备误检率。

技术参数 >

• 型号:Dhyana 9KTDI
• 传感器类型:BSI sCMOS TDI
• 传感器型号:Gpixel GLT5009BSI
• 量子效率:38 % @ 266 nm，51% @ 355 nm，82 % @ 550 nm，38 % @ 800 nm
• 彩色 / 黑白:黑白
• 对角线尺寸:45.4 mm
• 有效面积:45.36 mm x 1.28 mm
• 分辨率:9072 (H) x 256 (V)
• 像素尺寸:5 μm x 5 μm
• 操作模式:TDI, Area
• TDI 级数:4, 8, 16, 32, 64, 96, 128, 160, 192, 224, 240, 248, 252, 256
• 扫描方向:正向，反向，触发控制
• 电荷转移效率:≥ 0.99993
• 位深:12 bit, 10 bit, 8 bit
• 满阱容量:典型值: 15.5 ke- @ 12 bit, 14 ke- @ 10 bit
• 动态范围:典型值：68.7 dB @ 12 bit, 63.6 dB @ 10 bit
• 最大线速:299 kHz @ 12 bit, 345 kHz@ 10 bit, 510 kHz @ 8 bit
• 读出噪声:典型值：7.2 e- @ 12 bit, 11.4 e- @ 10 bit
• 暗信号不均匀性:典型值：1.5 e- @ 12 bit, 3.5 e- @ 10 bit
• 光响应不均匀性:典型值：0.30%
• 制冷方式:风冷，水冷，制冷速度 5 ℃ / min
• 制冷温度:低于环境温度25℃
• Binning:2 x 1 (SENSOR BIN)，2 x 2，4 x 4，8 x 8 (FPGA BIN)
• ROI:支持
• 触发模式:触发输入, 扫描方向输入
• 触发输出信号:Strobe out
• 触发接口:Hirose, HR10A-7R-4S
• 时间戳精度:8 ns
• 模拟增益:x2 ~ x8, 步进 0.5
• 数字增益:x0.5 ~ x10，步进 1
• 数据接口:CoaxPress 2.0
• 光学接口:M72 / 用户可定制
• 电源:12 V / 8 A
• 功耗:< 60 W
• 相机尺寸:86 mm x 86 mm x 109 mm
• 重量:1100 g
• 软件:SamplePro
• SDK:C++（支持GenlCam标准）
• 操作系统:Windows, Linux
• 操作环境:工作温度：温度 0~40 °C, 湿度 0~85%
  储藏温度：温度 0~60 °C, 湿度 0~90 %

应用方向 >

· 半导体/晶圆检测

· FPD检测