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EUV-软X射线光谱仪
波长范围（nm） 光谱分辨率（nm） 焦距(mm) 型号 扫描 阵列探测器 成像 真空 超高真空 光谱仪光学设计
< 1 to 310 0.018 1,000 248/310 ● ●   ● ● 罗兰圆掠入射式
< 1 to 80 0.02 5,650 251MX ● ●   ● ● 平面相差矫正
8 to 120 0.01 2,000 XCT ● ● ● ● ● 掠入射CT结构,8°入射角